2nm将量产？曝台积电2024年取得高NA EUV光刻机

9月18日，据媒体报道称，台积电将在2024年正式取得ASML（阿斯麦）的下世代极紫光微影设备（High-Na EUV）。

媒体认为，这将对台积电推进2nm制程工艺量产提供巨大的帮助。台积电业务开发副总裁张晓强曾表示，台积电在取得High-NA EUV光刻设备后初期将会与合作伙伴用于共同研究。

除去台积电以外，三星也有计划引进该设备，英特尔也宣布已与ASML签署合同购买5台该设备。媒体预计2nm制程工艺可能会在2025年左右正式量产。

据悉，High-NA EUV光刻机的预估单价为4亿美元（约合人民币27.94亿元），是目前现有EUV光刻机单价的2倍以上。